Caractérisation non destructive de couches minces à l'aide d'une cavité Klystron

Résumé : Ce papier présente deux méthodes spécifiques de caractérisations diélectriques de couches minces déposées sur des substrats. L'une emploie deux résonateurs diélectriques, placés en regard à l'intérieur d'une cavité métallique cylindrique et l'autre est basée sur l'utilisation de cavités Klystron. Les mesures des perturbations des fréquences de résonance et facteurs de qualité à vide lors de l'introduction des échantillons à caractériser permettent à l'aide de logiciel de simulation électromagnétique de déterminer les permittivités et tangentes de pertes.
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https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00907458
Contributor : Valérie Madrangeas <>
Submitted on : Thursday, November 21, 2013 - 12:11:17 PM
Last modification on : Thursday, January 11, 2018 - 6:26:39 AM

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  • HAL Id : hal-00907458, version 1

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Citation

Valérie Madrangeas, Dominique Cros, Michel Aubourg, Damien Passerieux, Jean-Michel Le Floch, et al.. Caractérisation non destructive de couches minces à l'aide d'une cavité Klystron. Troisième colloque francophone PLUridisciplinaire sur les Matériaux, l'Environnement et l'Electronique (PLUMEE 2013), May 2013, Bacau, Roumanie. pp.ISSN - ISSN-L : 2343-9092. ⟨hal-00907458⟩

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