Article Dans Une Revue
physica status solidi (a)
Année : 2013
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https://hal.science/hal-00877646
Soumis le : mardi 29 octobre 2013-09:17:18
Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18
Citer
N.T.P. Nguyen, Yannick Coffinier, V. Thomy, Rabah Boukherroub. Fabrication of silicon nanostructures using metal-assisted etching in NaBF4. physica status solidi (a), 2013, 210, pp.2178-2182. ⟨10.1002/pssa.201330035⟩. ⟨hal-00877646⟩
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