Cellule CMUT formée d'une membrane de nanotubes ou de nanofils ou de nanopoutres et dispositif d'imagerie acoustique ultra haute fréquence comprenant une pluralité de telles cellules

Bérengère Lebental (1) , Anne Ghis (2)

1 LCPC/MI - Division Métrologie et Instrumentation
2 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

L'invention concerne un transducteur électro-acoustique capacitif de type cMUT comprenant : au moins une membrane (105, 205) prévue pour osciller sous l'effet d'un champ électrique et/ou d'une onde acoustique, la membrane étant formée d'une ou plusieurs couches (301-306) de nanotubes ou de nano-fils ou de nano-poutres juxtaposés, ainsi qu'un dispositif d'imagerie acoustique ou un sonar UHF comportant de tels transducteurs.

Mots clés: BREVET; TRANSDUCTEUR

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Bérengère Lebental, Anne Ghis. Cellule CMUT formée d'une membrane de nanotubes ou de nanofils ou de nanopoutres et dispositif d'imagerie acoustique ultra haute fréquence comprenant une pluralité de telles cellules. France, N° de brevet: 08 57928. 2008, 58 p. ⟨hal-00869213⟩