 |
Journal articles
Oxide confinement and high contrast grating mirrors for Mid-infrared VCSELs
Youness Laaroussi
1
Christyves Chevallier
2
Frédéric Genty
2
Nicolas Fressengeas
3
Laurent Cerutti
4, 5
Thierry Taliercio
4, 5
Olivier Gauthier-Lafaye
1
Pierre-François Calmon
6
Benjamin Reig
1
Joël Jacquet
2
Guilhem Almuneau
1
5
NANOMIR - Composants à Nanostructure pour le moyen infrarouge
IES - Institut d’Electronique et des Systèmes
6
LAAS-TEAM - Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique
LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes
Youness Laaroussi 1
Author
Christyves Chevallier 2
Author IdHAL : christyves
Frédéric Genty 2
Author IdHAL : frederic-genty
Nicolas Fressengeas 3
Author IdHAL : fresseng ResearcherId : http://www.researcherid.com/rid/B-9982-2012 ORCID : https://orcid.org/0000-0002-5534-712X
Laurent Cerutti 4, 5
Author IdHAL : laurent-cerutti ResearcherId : http://www.researcherid.com/rid/C-4397-2018 ORCID : https://orcid.org/0000-0002-1758-7130
Thierry Taliercio 4, 5
Author IdHAL : thierry-taliercio ORCID : https://orcid.org/0000-0002-6425-9981
Olivier Gauthier-Lafaye 1
Author IdHAL : olivier-gauthier-lafaye ORCID : https://orcid.org/0000-0003-2705-8811
Pierre-François Calmon 6
Author IdHAL : pierre-francois-calmon ORCID : https://orcid.org/0000-0002-5652-3500
Benjamin Reig 1
Author IdHAL : benjamin-reig
Joël Jacquet 2
Author IdHAL : joel-jacquet ORCID : https://orcid.org/0000-0003-4629-7578
Guilhem Almuneau 1
Author Employer institution : Équipe Photonique IdHAL : almuneau
1
LAAS-PHOTO - Équipe Photonique (France)
- LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (7 Av du colonel Roche 31077 TOULOUSE CEDEX 4 - France)
- UT1 - Université Toulouse 1 Capitole (2 rue du Doyen-Gabriel-Marty - 31042 Toulouse Cedex 9 - France)
- INSA Toulouse - Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (135, avenue de Rangueil - 31077 Toulouse cedex 4 - France)
- UT2J - Université Toulouse - Jean Jaurès (5 allées Antonio Machado - 31058 Toulouse Cedex 9 - France)
- UT3 - Université Toulouse III - Paul Sabatier (118 route de Narbonne - 31062 Toulouse - France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UPR8001 (France)
- Toulouse INP - Institut National Polytechnique (Toulouse) (France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
3
LMOPS - Laboratoire Matériaux Optiques, Photonique et Systèmes (Université de Lorraine - CentraleSupélec, 2 rue Edouard Belin, 57070 Metz - France)
- CentraleSupélec (3, rue Joliot Curie, Plateau de Moulon, 91192 GIF-SUR-YVETTE Cedex - France)
- UL - Université de Lorraine : EA4423 (34 cours Léopold - CS 25233 - 54052 Nancy cedex - France)
4
IES - Institut d’Electronique et des Systèmes (860, rue Saint Priest, Bâtiment 5 - CC 05001 -34095 Montpellier Cedex 5 - France)
- UM - Université de Montpellier (163 rue Auguste Broussonnet - 34090 Montpellier - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5214 (France)
5
NANOMIR - Composants à Nanostructure pour le moyen infrarouge (France)
- IES - Institut d’Electronique et des Systèmes (860, rue Saint Priest, Bâtiment 5 - CC 05001 -34095 Montpellier Cedex 5 - France)
- UM - Université de Montpellier (163 rue Auguste Broussonnet - 34090 Montpellier - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5214 (France)
6
LAAS-TEAM - Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique (France)
- LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (7 Av du colonel Roche 31077 TOULOUSE CEDEX 4 - France)
- UT1 - Université Toulouse 1 Capitole (2 rue du Doyen-Gabriel-Marty - 31042 Toulouse Cedex 9 - France)
- INSA Toulouse - Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (135, avenue de Rangueil - 31077 Toulouse cedex 4 - France)
- UT2J - Université Toulouse - Jean Jaurès (5 allées Antonio Machado - 31058 Toulouse Cedex 9 - France)
- UT3 - Université Toulouse III - Paul Sabatier (118 route de Narbonne - 31062 Toulouse - France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UPR8001 (France)
- Toulouse INP - Institut National Polytechnique (Toulouse) (France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
Abstract : A new mid-infrared (MIR) Vertical Cavity Surface Emitting Laser (VCSEL) structure is proposed. We have integrated to the VCSEL structure both an oxide aperture for lateral confinement, and a sub-wavelength high-contrast-grating top mirror. Upon the GaSb-based half-VCSEL, we have grown a metamorphic AlGaAs heterostructure to enable thermal oxidation and grating mirror fabrication steps. A methodology based on optimization and anti-optimization methods has been used to design the optical grating, with improved parameter tolerances regarding processing errors. Finally, we show the complete fabrication of an electrically-pumped MIR monolithic VCSEL structure implementing both oxide confinement and a subwavelength grating top mirror.
Document type :
Journal articles
Domain :
Complete list of metadatas
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00863150
Contributor : Nicolas Fressengeas <>
Submitted on : Wednesday, September 18, 2013 - 12:20:50 PM
Last modification on : Wednesday, April 8, 2020 - 4:08:24 PM
Contributor : Nicolas Fressengeas <>
Submitted on : Wednesday, September 18, 2013 - 12:20:50 PM
Last modification on : Wednesday, April 8, 2020 - 4:08:24 PM
Links full text
Identifiers
- HAL Id : hal-00863150, version 1
- DOI : 10.1364/OME.3.001576
Collections
CNRS | SUPELEC | SUP_LMOPS | SUP_OPTEL | CENTRALESUPELEC | LMOPS-AXE1 | UNIV-LORRAINE | INSA-TOULOUSE | LMOPS-MATERIAUX | UNIV-MONTPELLIER | MIPS | IES | LAAS-PHOTO | LAAS-TEAM | LAAS | LAAS-HYPERFREQUENCES-ET-OPTIQUE | INSA-GROUPE | UNIV-TLSE3 | UT1-CAPITOLE | UNIV-TLSE2
Citation
Youness Laaroussi, Christyves Chevallier, Frédéric Genty, Nicolas Fressengeas, Laurent Cerutti, et al.. Oxide confinement and high contrast grating mirrors for Mid-infrared VCSELs. Optical Materials Express, OSA pub, 2013, 3 (10), pp.1576-1585. ⟨10.1364/OME.3.001576⟩. ⟨hal-00863150⟩
Metrics
Record views