In-situ visualization and order quantification of symmetric diblock copolymer directed self-assembly - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Thin Solid Films Année : 2013

In-situ visualization and order quantification of symmetric diblock copolymer directed self-assembly

M. Salaun
Laboratoire des technologies de la microélectronique
CV
M. Le Gallic
  • Fonction : Auteur
E. Picard
Silicon Nanoelectronics Photonics and Structures
M. Zelsmann
Laboratoire des technologies de la microélectronique

Marielle Clot  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00860982

Soumis le : mercredi 11 septembre 2013-15:51:53

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:20:46

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00860982 , version 1 (11-09-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00860982 , version 1

Citer

M. Salaun, M. Le Gallic, E. Picard, M. Zelsmann. In-situ visualization and order quantification of symmetric diblock copolymer directed self-assembly. Thin Solid Films, 2013, 543, pp.148. ⟨hal-00860982⟩

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