Nanometrology for self-assembly nanofabrication method

W. Khunsin; C. Simao; D. Tuchapsky; A. Amman; M. Salaun; M. Zelsmann; T. Kehoe; J. Gomis-Bresco; N. Kehagias; M. A. Morris; C. M. Sotomayor Torres

Communication Dans Un Congrès Année : 2013

Nanometrology for self-assembly nanofabrication method

, , , , (1) , (1) , , , , ,

1

W. Khunsin

Fonction : Auteur

C. Simao

Fonction : Auteur

D. Tuchapsky

Fonction : Auteur

A. Amman

Fonction : Auteur

M. Salaun

Fonction : Auteur
PersonId : 17040
IdHAL : mathieu-salaun
ORCID : 0000-0002-1513-9000

Laboratoire des technologies de la microélectronique

CV

M. Zelsmann

Fonction : Auteur
PersonId : 740118
IdHAL : marc-zelsmann
ORCID : 0000-0002-7619-4871
IdRef : 07808198X

Laboratoire des technologies de la microélectronique

T. Kehoe

Fonction : Auteur

J. Gomis-Bresco

Fonction : Auteur

N. Kehagias

Fonction : Auteur

M. A. Morris

Fonction : Auteur

C. M. Sotomayor Torres

Fonction : Auteur

Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00860944

Soumis le : mercredi 11 septembre 2013-15:05:00

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-18:22:34

Dates et versions

hal-00860944 , version 1 (11-09-2013)

Identifiants

HAL Id : hal-00860944 , version 1

Citer

W. Khunsin, C. Simao, D. Tuchapsky, A. Amman, M. Salaun, et al.. Nanometrology for self-assembly nanofabrication method. 9th International Conference on Industrial Dimensional Metrology, Metromeet 2013, Mar 2013, Bilbao, Spain. ⟨hal-00860944⟩

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Nanometrology for self-assembly nanofabrication method

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