Horizontal buried channels in monocrystalline silicon

Olivier de Sagazan (1) , Matthieu Denoual (2) , P. Guil , D. Gaudin (3) , Bruno Le Pioufle (4) , Olivier Bonnaud (1)

1 IETR - Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique
2 electronique
3 LMF - Laboratoire de mécanique des fluides
4 SATIE - Systèmes et Applications des Technologies de l'Information et de l'Energie

Olivier de Sagazan, Matthieu Denoual, P. Guil, D. Gaudin, Bruno Le Pioufle, et al.. Horizontal buried channels in monocrystalline silicon. Proceeding of the MEMS 2004 conference, Jan 2004, Maastricht, Germany. pp.661-664. ⟨hal-00847215⟩