Measuring the energy flux at the substrate position during magnetron sputter deposition processes

Pierre-Antoine Cormier (1) , A. Balhamri (2) , Anne-Lise Thomann (3) , Remi Dussart (1) , Nadjib Semmar (1) , Jacky Mathias (1) , R. Snyders , Stephanos Konstantinidis (4, 5)

1 GREMI - Groupe de recherches sur l'énergétique des milieux ionisés
2 CHIPS - Laboratoire de Chimie des Interactions Plasma Surface
3 GREMI - Groupe de recherches sur l'énergétique des milieux ionisés
4 Materials Chemistry [Aachen]
5 UMons - Université de Mons

Domaines: Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

Pierre-Antoine Cormier, A. Balhamri, Anne-Lise Thomann, Remi Dussart, Nadjib Semmar, et al.. Measuring the energy flux at the substrate position during magnetron sputter deposition processes. Journal of Applied Physics, 2013, 113, pp.013305. ⟨10.1063/1.4773103⟩. ⟨hal-00831364⟩