Communication Dans Un Congrès
Année : 2013
Thomas Tillocher : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00831358
Soumis le : jeudi 6 juin 2013-17:56:27
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:57
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00831358 , version 1
Citer
Thomas Tillocher, Philippe Lefaucheux, Bertrand Boutaud, Remi Dussart. Reproducible process for Titanium deep etching. Plasma Etch and Strip in Microtechnology, Mar 2013, Louvain, Belgium. ⟨hal-00831358⟩
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