Communication Dans Un Congrès
Année : 2012
Thomas Tillocher : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00831357
Soumis le : jeudi 6 juin 2013-17:49:32
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:57
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00831357 , version 1
Citer
Thomas Tillocher, Jérémy Pereira, Nasreddine Mekkakia Maaza, Philippe Lefaucheux, Pierre Ranson, et al.. Formation of black silicon by cryogenic plasma etching processes. Micro- and Nano-Engineering (MNE), Sep 2012, Toulouse, France. ⟨hal-00831357⟩
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