Applications of cryogenic plasma etching for microtechnology and advanced CMOS manufacturing
Remi Dussart
(1)
,
Philippe Lefaucheux
(1)
,
Thomas Tillocher
(1)
,
Pierre Ranson
(1)
,
Mohamed Boufnichel
(2)
,
Rami Ljazouli
,
Liping Zhang
(3)
,
Yuri Mankelevich
(3)
,
Jean-Francois de Marneffe
(3)
,
Stefan de Gendt
(3)
,
Mikhail Baklanov
(3)
Remi Dussart
- Fonction : Auteur
- PersonId : 4419
- IdHAL : remi-dussart
Philippe Lefaucheux
- Fonction : Auteur
- PersonId : 874204
Thomas Tillocher
- Fonction : Auteur
- PersonId : 7479
- IdHAL : thomas-tillocher
- ORCID : 0000-0002-9160-5595
- IdRef : 120339072
Rami Ljazouli
- Fonction : Auteur