Micro-transformateur piézoélectrique intégré sur substrat en silicium

Dejan Vasic; François Costa; Emmanuel Sarraute; Patrick Sangouard; Eric Cattan

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Micro-transformateur piézoélectrique intégré sur substrat en silicium

Dejan Vasic ¹ François Costa ¹ Emmanuel Sarraute ¹ Patrick Sangouard ² Eric Cattan ³

1 SATIE - Systèmes et Applications des Technologies de l'Information et de l'Energie

2 ESYCOM - Electronique, Systèmes de communication et Microsystèmes

3 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Dejan Vasic ¹ AuthorId : 818566

Author IdHAL : dejan-vasic

François Costa ¹ AuthorId : 175122

Author IdHAL : francois-costa ORCID : https://orcid.org/0000-0002-0303-6346

Emmanuel Sarraute ¹ AuthorId : 281676
Author

Patrick Sangouard ² AuthorId : 305208
Author

Eric Cattan ³ AuthorId : 185804
Author

1 SATIE - Systèmes et Applications des Technologies de l'Information et de l'Energie (61 av du President Wilson 94235 CACHAN Cedex - France) StructId : 1194

ENS Cachan - École normale supérieure - Cachan (61, avenue du Président Wilson - 94230 Cachan - France) StructId : 6862
UP11 - Université Paris-Sud - Paris 11 (Bâtiment 300 - 91405 Orsay cedex - France) StructId : 92966
ENS Rennes - École normale supérieure - Rennes (Campus de Ker Lann - avenue Robert Schuman - 35170 Bruz - France) StructId : 247362
UCP - Université de Cergy Pontoise : UMR CNRS 8029 (33 Boulevard du Port, 95011 Cergy-Pontoise Cedex - France) StructId : 300305
- Université Paris-Seine (3 avenue Bernard Hirsch, CS 50105, 95021 Cergy-Pontoise - France) StructId : 531928
CNAM - Conservatoire National des Arts et Métiers [CNAM] : UMR8029 (France) StructId : 300351
CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR8029 (France) StructId : 441569
IFSTTAR - Institut Français des Sciences et Technologies des Transports, de l'Aménagement et des Réseaux (14-20 Boulevard Newton - Cité Descartes, Champs sur Marne - F-77447 Marne la Vallée Cedex 2 - France) StructId : 222110

2 ESYCOM - Electronique, Systèmes de communication et Microsystèmes (Université de Paris-Est - Marne-la-Vallée, Cité Descartes, Bâtiment Copernic, 5 bd Descartes, 77454 Marne-la-Vallée Cedex 2 - France) StructId : 43154

CNAM - Conservatoire National des Arts et Métiers [CNAM] : EA2552 (France) StructId : 300351
UPEM - Université Paris-Est Marne-la-Vallée : EA2552 (5 boulevard Descartes - Champs-sur-Marne - 77454 Marne-la-Vallée Cedex 2 - France) StructId : 301243
ESIEE Paris (2 boulevard Blaise Pascal Cité Descartes BP 99 93162 Noisy-le-Grand Cedex - France) StructId : 302035

3 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520 (Laboratoire Central – Cité Scientifique – Avenue Poincaré – CS 60069 – 59652 VILLENEUVE D’ASCQ CEDEX - France) StructId : 1296

Institut supérieur de l'électronique et du nunérique (ISEN) (France) StructId : 300066
UPHF - Université Polytechnique Hauts-de-France (Campus Mont Houy 59313 Valenciennes Cedex 9 - France) StructId : 300279
Ecole Centrale de Lille (Cité Scientifique - CS 20048 59651 Villeneuve d'Ascq Cedex - France) StructId : 120930
Université de Lille (Lille - France) StructId : 374570
CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR8520 (France) StructId : 441569

Document type :

Journal articles

Domain :

Engineering Sciences [physics] / Electric power

Liste complète des métadonnées

https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00811665
Contributor : Dejan Vasic <>
Submitted on : Wednesday, April 10, 2013 - 8:20:23 PM
Last modification on : Thursday, February 7, 2019 - 4:01:44 PM

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HAL Id : hal-00811665, version 1

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Citation

Dejan Vasic, François Costa, Emmanuel Sarraute, Patrick Sangouard, Eric Cattan. Micro-transformateur piézoélectrique intégré sur substrat en silicium. Revue Internationale de Génie Electrique, 2004, 7 (3-4), pp.315-332. 〈hal-00811665〉

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