Brevet
Année : 2012
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00808852
Soumis le : dimanche 7 avril 2013-20:12:39
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:01:05
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00808852 , version 1
Citer
L.A. Clevenger, Maxime Darnon, Q. Lin, A. D. Lisi, S. V. Nitta. Method for air gap interconnect integration using photo-patternable low k material. Patent n° : US 8,241,992. 2012. ⟨hal-00808852⟩
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