Buried selective growth of p-doped SiC by VLS epitaxy - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Materials Science Forum Année : 2012

Buried selective growth of p-doped SiC by VLS epitaxy

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00803061 , version 1 (20-03-2013)

Identifiants

Citer

Davy Carole, Stéphane Berckmans, Arthur Vo-Ha, Mihai Lazar, Dominique Tournier, et al.. Buried selective growth of p-doped SiC by VLS epitaxy. Materials Science Forum, 2012, 717-720, pp.169-172. ⟨10.4028/www.scientific.net/MSF.717-720.169⟩. ⟨hal-00803061⟩
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