Communication Dans Un Congrès
Année : 2012
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https://hal.science/hal-00801106
Soumis le : vendredi 15 mars 2013-10:03:34
Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18
Citer
Z. Xiong, B. Walter, E. Mairiaux, M. Faucher, L. Buchaillot, et al.. Conception and fabrication of piezo-resistive ring shaped AFM probe. 25th IEEE Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2012, 2012, Paris, France. pp.547-550, ⟨10.1109/MEMSYS.2012.6170180⟩. ⟨hal-00801106⟩
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