Contribution au domaine des actionneurs et résonateurs microélectromécaniques. Applications à la nanocaractérisation - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Autre Publication Scientifique Année : 2012

Contribution au domaine des actionneurs et résonateurs microélectromécaniques. Applications à la nanocaractérisation

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https://hal.science/hal-00799254

Soumis le : mardi 12 mars 2013-08:17:31

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

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Dates et versions

hal-00799254 , version 1 (12-03-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00799254 , version 1

Citer

Bernard Legrand. Contribution au domaine des actionneurs et résonateurs microélectromécaniques. Applications à la nanocaractérisation. 2012. ⟨hal-00799254⟩

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