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Communication Dans Un Congrès Année : 2013

Integration of functional polymers in organic MEMS for sensing applications

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Isabelle Dufour  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00795354

Soumis le : mercredi 27 février 2013-20:38:15

Dernière modification le : jeudi 18 avril 2024-09:30:02

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00795354 , version 1 (27-02-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00795354 , version 1

Citer

Damien Thuau, Georges Dubourg, Karsten Haupt, Claude Pellet, Philippe Poulin, et al.. Integration of functional polymers in organic MEMS for sensing applications. 10th International Workshop on Nanomechanical Cantilever Sensors, 2013, Stanford, United States. 2 p. ⟨hal-00795354⟩

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