Mueller polarimetry as a tool for evaluation of diffraction grating profile asymmetry - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Journal of Vacuum Science and Technology Année : 2011
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00789254 , version 1 (17-02-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00789254 , version 1

Citer

Tatiana Novikova, Pavel Bulkin, V. Popov, Bicher Haj Ibrahim, Antonello de Martino. Mueller polarimetry as a tool for evaluation of diffraction grating profile asymmetry. Journal of Vacuum Science and Technology, 2011, 29 (5), pp.051804. ⟨hal-00789254⟩
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