Article Dans Une Revue
Journal of Vacuum Science and Technology
Année : 2011
Tatiana Novikova : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00789254
Soumis le : dimanche 17 février 2013-17:27:48
Dernière modification le : mardi 23 janvier 2024-13:35:22
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00789254 , version 1
Citer
Tatiana Novikova, Pavel Bulkin, V. Popov, Bicher Haj Ibrahim, Antonello de Martino. Mueller polarimetry as a tool for evaluation of diffraction grating profile asymmetry. Journal of Vacuum Science and Technology, 2011, 29 (5), pp.051804. ⟨hal-00789254⟩
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