Article Dans Une Revue
Applied optics
Année : 2006
Tatiana Novikova : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00789241
Soumis le : dimanche 17 février 2013-16:37:56
Dernière modification le : mardi 23 janvier 2024-13:35:22
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Identifiants
- HAL Id : hal-00789241 , version 1
Citer
Tatiana Novikova, Antonello de Martino, Sami Ben Hatit, Bernard Drevillon. Application of Mueller polarimetry in conical diffraction for critical dimension measurements in microelectronics. Applied optics, 2006, 45 (16), pp.3688. ⟨hal-00789241⟩
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