Top electrode size effect on hysteresis loops in piezoresponse force microscopy of Pb(Zr,Ti)O3-film on silicon structures

S.L. Bravina , N.V. Morozovsky , E.A. Eliseev , A.N. Morozovska , J. Costecalde , Caroline Soyer , Denis Remiens , D. Deresmes (1)

1 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520

Domaines: Sciences de l'ingénieur [physics]

S.L. Bravina, N.V. Morozovsky, E.A. Eliseev, A.N. Morozovska, J. Costecalde, et al.. Top electrode size effect on hysteresis loops in piezoresponse force microscopy of Pb(Zr,Ti)O3-film on silicon structures. Journal of Applied Physics, 2012, 112, pp.052015-1-7. ⟨10.1063/1.4746028⟩. ⟨hal-00788339⟩