Article Dans Une Revue
Sensors and Actuators A: Physical
Année : 2012
Collection IEMN : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00788268
Soumis le : jeudi 14 février 2013-10:55:12
Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18
Citer
C. Sion, P. Godts, K. Ziouche, Z. Bougrioua, T. Lasri, et al.. Unpackaged infrared thermoelectric microsensor realized on suspended membrane by silicon technology. Sensors and Actuators A: Physical , 2012, 175, pp.78-86. ⟨10.1016/j.sna.2011.12.051⟩. ⟨hal-00788268⟩
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