Fabrication of deep single trenches from N-type macroporous silicon - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Thin Solid Films Année : 2005

Fabrication of deep single trenches from N-type macroporous silicon

G. Gautier
CV
Laurent Ventura
  • Fonction : Auteur
T. Pordie
  • Fonction : Auteur
Regis Rogel
  • Fonction : Auteur
Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique
R. Jérisian
  • Fonction : Auteur

Katell Kervella  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00772793

Soumis le : vendredi 11 janvier 2013-10:38:11

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:56

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00772793 , version 1 (11-01-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00772793 , version 1

Citer

G. Gautier, Laurent Ventura, T. Pordie, Regis Rogel, R. Jérisian. Fabrication of deep single trenches from N-type macroporous silicon. Thin Solid Films, 2005, 487, pp.283-287. ⟨hal-00772793⟩

Exporter

BibTeX XML-TEI Dublin Core DC Terms EndNote DataCite

Collections

UNIV-NANTES UNIV-RENNES1 CNRS INSA-RENNES IETR UR1-MATH-STIC UR1-UFR-ISTIC IETR-MM UNIV-RENNES INSA-GROUPE UR1-MATH-NUM NANTES-UNIVERSITE
420 Consultations
0 Téléchargements

Partager

Gmail Facebook X LinkedIn More