Dielectric performance of innovant oxynitride thin films

Laurent Le Gendre (1) , Claire Le Paven-Thivet (2) , Ratiba Benzerga (2) , Viet Hung Nguyen (2, 3) , Christophe Delaveaud (3) , Ala Sharaiha (1) , Franck Tessier (4) , François Cheviré (4)

1 IETR - Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique
2 IETR - Institut d'Electronique et de Télécommunications de Rennes
3 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
4 ISCR - Institut des Sciences Chimiques de Rennes

Domaines: Matériaux

Laurent Le Gendre, Claire Le Paven-Thivet, Ratiba Benzerga, Viet Hung Nguyen, Christophe Delaveaud, et al.. Dielectric performance of innovant oxynitride thin films. séminaire invité devant la Business & Technology Development Unit - MURATA Electronics - Yasu-shi, Japon, Nov 2012, Yasu, Japan. ⟨hal-00751678⟩