VOC detection with screen-printed piezoelectric cantilevers coated with PEUT and nanoporous sensitive layers. Comparison with silicon cantilevers - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2012

VOC detection with screen-printed piezoelectric cantilevers coated with PEUT and nanoporous sensitive layers. Comparison with silicon cantilevers

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Isabelle Dufour  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00743797

Soumis le : samedi 20 octobre 2012-15:45:21

Dernière modification le : lundi 5 juin 2023-16:52:11

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Dates et versions

hal-00743797 , version 1 (20-10-2012)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00743797 , version 1

Citer

Hélène Debéda, Riadh Lakhmi, Pierrick Clément, E. Llobet, M.P. Pina, et al.. VOC detection with screen-printed piezoelectric cantilevers coated with PEUT and nanoporous sensitive layers. Comparison with silicon cantilevers. 6èmes Journées Franco-espagnoles, Micro and nanosensors and microsystems, 2012, Marseille, France. 2 p. ⟨hal-00743797⟩

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