On the modelling of the direct bonding of two silicon surfaces

Type de document :
Communication dans un congrès
Eleventh International Conference on Computational Structures Technology, Sep 2012, Dubrovnik, Croatia. CD ROM (17 p.), 2012, 〈10.4203/ccp.99.143〉
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Contributeur : Frédéric Lebon <>
Soumis le : mercredi 10 octobre 2012 - 18:48:08
Dernière modification le : mercredi 25 avril 2018 - 10:30:03

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Citation

Frédéric Lebon, Natacha Cocheteau, Iulian Rosu, Aurelien Maurel-Pantel, Sonia Ait Zaid, et al.. On the modelling of the direct bonding of two silicon surfaces. Eleventh International Conference on Computational Structures Technology, Sep 2012, Dubrovnik, Croatia. CD ROM (17 p.), 2012, 〈10.4203/ccp.99.143〉. 〈hal-00740761〉

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