On the direct bonding of two silicon surfaces: experiments and modeling

Abstract : Silicon direct bonding is a well known process in optic. In this communication we will present principles of molecular adhesion, chemical and mechanical characterization of the interface and a numerical study to predict the mechanical resistance of assemblies.
Type de document :
Communication dans un congrès
Mechanics of Nano, Micro and Macro Composite Structures, Jun 2012, Turin, Italy
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Contributeur : Frédéric Lebon <>
Soumis le : mercredi 10 octobre 2012 - 18:38:55
Dernière modification le : lundi 29 janvier 2018 - 16:06:04
Document(s) archivé(s) le : vendredi 16 décembre 2016 - 23:36:40

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Citation

Natacha Cocheteau, Frédéric Lebon, Iulian Rosu, Sonia Ait Zaid, Isabelle Savin de Larclause. On the direct bonding of two silicon surfaces: experiments and modeling. Mechanics of Nano, Micro and Macro Composite Structures, Jun 2012, Turin, Italy. 〈hal-00740759〉

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