Silicon nanowires synthesis using top down and bottom up approaches : applications to chemical sensors

Liang Ni (1) , Fouad Demami (1) , Gertrude Godem-Wenga (1) , Emmanuel Jacques (1) , Anne-Claire Salaün (2) , Régis Rogel (2) , Laurent Pichon (2)

1 IETR - Institut d'Electronique et de Télécommunications de Rennes
2 IETR - Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Liang Ni, Fouad Demami, Gertrude Godem-Wenga, Emmanuel Jacques, Anne-Claire Salaün, et al.. Silicon nanowires synthesis using top down and bottom up approaches : applications to chemical sensors. Workshop NIMS-UR1 on materials and sustainable development : issues and challenges of the 21st century, May 2011, France. ⟨hal-00715889⟩