Dielectric and structural characterizations of La-Ti-O-N perovskite thin films

Claire Le Paven-Thivet (1) , Yu Lu (1) , Viet Hung Nguyen (1, 2) , Ratiba Benzerga (1) , Laurent Le Gendre (3) , Christophe Delaveaud (2) , Ala Sharaiha (3) , Xavier Castel (1) , Stéphanie Députier (4) , Franck Tessier (4) , François Cheviré (4)

1 IETR - Institut d'Electronique et de Télécommunications de Rennes
2 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
3 IETR - Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique
4 ISCR - Institut des Sciences Chimiques de Rennes

Domaines: Matériaux

Claire Le Paven-Thivet, Yu Lu, Viet Hung Nguyen, Ratiba Benzerga, Laurent Le Gendre, et al.. Dielectric and structural characterizations of La-Ti-O-N perovskite thin films. 7th International Symposium on NiTrides - ISNT 2012, Jun 2012, St-Malo, France. ⟨hal-00710195⟩