Eletrical and thermal characterization of next generation nanoscale porous materials for 3D integration shemes - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2012

Eletrical and thermal characterization of next generation nanoscale porous materials for 3D integration shemes

Domaines

Génie des procédés Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

Mireille Gaillard  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00710069

Soumis le : mercredi 20 juin 2012-08:34:50

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:55

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00710069 , version 1 (20-06-2012)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00710069 , version 1

Citer

Mireille Gaillard, Eliane Amin-Chalhoub, Nadjib Semmar, Anne-Lise Thomann, Agnès Petit, et al.. Eletrical and thermal characterization of next generation nanoscale porous materials for 3D integration shemes. NanoSEA 2012, Jun 2012, Santa Magherita di Pula, Sardaigne, Italy. ⟨hal-00710069⟩

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