3D integration scheme with porous materials covered by metallic contacts - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2012

3D integration scheme with porous materials covered by metallic contacts

Domaines

Génie des procédés Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

Mireille Gaillard  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00708674

Soumis le : vendredi 15 juin 2012-14:53:10

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:55

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00708674 , version 1 (15-06-2012)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00708674 , version 1

Citer

Mireille Gaillard, Chantal Boulmer-Leborgne, Agnès Petit, Nadjib Semmar. 3D integration scheme with porous materials covered by metallic contacts. E-MRS Spring Meeting 2012, May 2012, Strasbourg, France. ⟨hal-00708674⟩

Exporter

BibTeX XML-TEI Dublin Core DC Terms EndNote DataCite

Collections

CNRS UNIV-ORLEANS GREMI
13 Consultations
0 Téléchargements

Partager

Gmail Facebook X LinkedIn More