Caractérisation de matrices de micro plasmas sur silicium

Mukesh Kulsreshath (1) , Laurent Schwaederlé (1) , Valentin Felix (1) , Philippe Lefaucheux (1) , Thomas Tillocher (1) , H. Boettner (2) , V. Schulz-von Der Gathen (3) , Lawrence J. Overzet (4) , Remi Dussart (1)

1 GREMI - Groupe de recherches sur l'énergétique des milieux ionisés
2 Institute for Experimental Physics II: Applied Plasma Physics
3 Institute for Applied Plasma Physics
4 PAL - Plasma Application Laboratory

Domaines: Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

Mukesh Kulsreshath, Laurent Schwaederlé, Valentin Felix, Philippe Lefaucheux, Thomas Tillocher, et al.. Caractérisation de matrices de micro plasmas sur silicium. XIIeme congrès de la division Plasmas de la Société Française de Physique, May 2012, Orléans, France. ⟨hal-00707935⟩