Communication Dans Un Congrès
Année : 2011
Remi Dussart : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00707927
Soumis le : mercredi 13 juin 2012-21:23:21
Dernière modification le : jeudi 21 décembre 2023-09:04:21
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00707927 , version 1
Citer
Mukesh Kulsreshath, Laurent Schwaederlé, Philippe Lefaucheux, H. Boettner, V. Schulz-von Der Gathen, et al.. Micro plasma reactor arrays made in silicon. 18th International Colloquium on Plasma Processes (CIP), Jul 2011, Nantes, France. ⟨hal-00707927⟩
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