Micro plasma reactor arrays made in silicon - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2011
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00707927 , version 1 (13-06-2012)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00707927 , version 1

Citer

Mukesh Kulsreshath, Laurent Schwaederlé, Philippe Lefaucheux, H. Boettner, V. Schulz-von Der Gathen, et al.. Micro plasma reactor arrays made in silicon. 18th International Colloquium on Plasma Processes (CIP), Jul 2011, Nantes, France. ⟨hal-00707927⟩
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