SiC and AlN growth processing : experiments and simulation.

M. Pons (1) , D. Chaussende (2) , J.M. Dedulle (2) , R. Boichot (1) , E. Blanquet (1)

1 SIMaP - Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés
2 LMGP - Laboratoire des matériaux et du génie physique

Domaines: Matériaux

M. Pons, D. Chaussende, J.M. Dedulle, R. Boichot, E. Blanquet. SiC and AlN growth processing : experiments and simulation.. International Workshop on Wide Band Gap Semiconductor Nanostructures, Jan 2011, Chennai, India. ⟨hal-00692283⟩