Article Dans Une Revue
International Journal of Nanotechnology
Année : 2008
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00680967
Soumis le : mardi 20 mars 2012-14:58:00
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:20:10
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00680967 , version 1
- DOI : 10.1088/0957-4484/19/12/125305
Citer
S. Landis, N. Chaix, C. Gourgon, T. Leveder. Quantitative characterizations of a nanopatterned bonded wafer: force determination for nanoimprint lithography stamp removal. International Journal of Nanotechnology, 2008, 19 (12), pp.125305. ⟨10.1088/0957-4484/19/12/125305⟩. ⟨hal-00680967⟩
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