Characterisation of an Ar-H 2--O 2 ICP by OES: Measurement of the atomic concentrations of H and O - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Journal of Physics: Conference Series Année : 2011

Characterisation of an Ar-H 2--O 2 ICP by OES: Measurement of the atomic concentrations of H and O

J. Altenberend
  • Fonction : Auteur
M. Maichrzak
  • Fonction : Auteur
Y. Delannoy
Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés
G. Chichignoud
Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés

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https://hal.science/hal-00679554

Soumis le : jeudi 15 mars 2012-19:42:21

Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:13

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Dates et versions

hal-00679554 , version 1 (15-03-2012)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00679554 , version 1

Citer

J. Altenberend, M. Maichrzak, Y. Delannoy, G. Chichignoud. Characterisation of an Ar-H 2--O 2 ICP by OES: Measurement of the atomic concentrations of H and O. Journal of Physics: Conference Series, 2011, 275 (1), pp.012001. ⟨hal-00679554⟩

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