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Communication Dans Un Congrès Année : 2012

Wafer-level printing process of organic MEMS resonators

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Isabelle Dufour  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00678030

Soumis le : dimanche 11 mars 2012-19:05:09

Dernière modification le : lundi 5 juin 2023-16:52:11

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00678030 , version 1 (11-03-2012)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00678030 , version 1

Citer

Georges Dubourg, Isabelle Dufour, Claude Pellet, Cédric Ayela. Wafer-level printing process of organic MEMS resonators. E-MRS 2012 Spring Meeting, 2012, Strasbourg, France. 1 page. ⟨hal-00678030⟩

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