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Communication Dans Un Congrès Année : 2012

Uncoated PZT thick film cantilever for chemical species detection in gaseous phase

Riadh Lakhmi
Laboratoire de l'intégration, du matériau au système
CV
Hélène Debéda
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 841623
Laboratoire de l'intégration, du matériau au système
Claude Lucat
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 841452
Laboratoire de l'intégration, du matériau au système

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Isabelle Dufour  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00677886

Soumis le : samedi 10 mars 2012-12:46:38

Dernière modification le : lundi 5 juin 2023-16:52:11

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00677886 , version 1 (10-03-2012)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00677886 , version 1

Citer

Riadh Lakhmi, Hélène Debéda, Claude Lucat. Uncoated PZT thick film cantilever for chemical species detection in gaseous phase. IMCS 2012, 2012, Nuremberg, Germany. 4 p. ⟨hal-00677886⟩

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