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Communication Dans Un Congrès Année : 2011

New polymer thick-films processing for cantilevers applied to moisture detection

Hélène Debéda
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 841623
Laboratoire de l'intégration, du matériau au système
G. Blanchot
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de l'intégration, du matériau au système
C.R. Zamarreño
  • Fonction : Auteur
F.J. Arregui
  • Fonction : Auteur
Claude Lucat
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 841452
Laboratoire de l'intégration, du matériau au système

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Isabelle Dufour  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00670359

Soumis le : mercredi 15 février 2012-11:41:37

Dernière modification le : lundi 5 juin 2023-16:52:11

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00670359 , version 1 (15-02-2012)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00670359 , version 1

Citer

Hélène Debéda, G. Blanchot, C.R. Zamarreño, F.J. Arregui, Claude Lucat. New polymer thick-films processing for cantilevers applied to moisture detection. MNE, 2011, Berlin, Germany. 1 page. ⟨hal-00670359⟩

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