Modelling of capacitively coupled radio-frequency discharges in nitrogen - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Poster De Conférence Année : 2009
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00669223 , version 1 (12-02-2012)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00669223 , version 1

Citer

L. Marques, C. D. Pintassilgo, Grégoire Alcouffe, Guy Cernogora, L. L. Alves. Modelling of capacitively coupled radio-frequency discharges in nitrogen. 17th CIP (International Colloquium on Plasma Processes), Jun 2009, Marseille, France. ⟨hal-00669223⟩
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