PECVD-grown carbon nanotube mats for microelectronics interconnections and their electrical characterization - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2010

PECVD-grown carbon nanotube mats for microelectronics interconnections and their electrical characterization

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

Mireille Gaillard  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00662066

Soumis le : lundi 23 janvier 2012-10:46:40

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:55

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00662066 , version 1 (23-01-2012)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00662066 , version 1

Citer

Mireille Gaillard, Hermane Mbitsi, Eliane Amin-Chalhoub, Agnès Petit, Chantal Boulmer-Leborgne, et al.. PECVD-grown carbon nanotube mats for microelectronics interconnections and their electrical characterization. International Meeting on Developments in Materials, Processes and Applications of Emerging Technologies (MPA-Meeting), Jul 2010, Braga, Portugal. ⟨hal-00662066⟩

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