Surface mechanics and full-field measurements for micromechanical sensors

Type de document :
Communication dans un congrès
7th International Workshop on Nanomechanical Cantilever Sensors, May 2010, Banff, Canada
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https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00659728
Contributeur : Christine Froidevaux <>
Soumis le : vendredi 13 janvier 2012 - 15:07:01
Dernière modification le : lundi 11 février 2019 - 16:46:49

Identifiants

  • HAL Id : hal-00659728, version 1

Citation

Fabien Amiot, Y. Fedala, Cécile Flammier, N. Garraud, F. Kanoufi, et al.. Surface mechanics and full-field measurements for micromechanical sensors. 7th International Workshop on Nanomechanical Cantilever Sensors, May 2010, Banff, Canada. 〈hal-00659728〉

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