Scatterometric Porosimetry for porous low-k patterns characterization
R. Hurand
(1)
,
R. Bouyssou
(2)
,
Maxime Darnon
(1)
,
C. Tiphine
,
C. Licitra
,
M. El Kodadi
,
T. Chevolleau
(1)
,
T. David
(3)
,
N. Posseme
(3)
,
M. Besacier
(1)
,
P. Schiavone
,
F. Bailly
(2)
,
O. Joubert
(1)
,
C. Verove
Maxime Darnon
- Fonction : Auteur
- PersonId : 17906
- IdHAL : maxime-darnon
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- IdRef : 124051758
C. Tiphine
- Fonction : Auteur
C. Licitra
- Fonction : Auteur
- PersonId : 761212
- ORCID : 0000-0002-4309-3310
M. El Kodadi
- Fonction : Auteur
P. Schiavone
- Fonction : Auteur
- PersonId : 742390
- IdHAL : patrick-schiavone
- ORCID : 0000-0002-0850-7127
- IdRef : 031703313
C. Verove
- Fonction : Auteur