Pulsed plasma for nanoCMOS and nanoelectronic device elaboration

G. Cunge (1) , E. Pargon (1) , Maxime Darnon (1) , L. Vallier (1) , P. Bodart (1) , C. Petit-Etienne (1) , M. Haass (1) , O. Luere (1) , M. Brihoum (1) , T. David (1, 2) , T. Chevolleau (1) , O. Joubert (1)

1 LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique
2 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

G. Cunge, E. Pargon, Maxime Darnon, L. Vallier, P. Bodart, et al.. Pulsed plasma for nanoCMOS and nanoelectronic device elaboration. The Second International Symposium on Plasma Nanoscience (iPlasmaNano-II), Dec 2010, Sydney, Australia. ⟨hal-00643911⟩