Plasma sputter deposition of Aluminum onto micropatterned silicon substrates: Experiments and molecular dynamics simulations - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2011

Plasma sputter deposition of Aluminum onto micropatterned silicon substrates: Experiments and molecular dynamics simulations

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Pascal Brault  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00642323

Soumis le : jeudi 17 novembre 2011-19:29:23

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:55

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00642323 , version 1 (17-11-2011)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00642323 , version 1

Citer

Pascal Brault, Anne-Lise Thomann, Amaël Caillard. Plasma sputter deposition of Aluminum onto micropatterned silicon substrates: Experiments and molecular dynamics simulations. ITFPC-MIATEC 2011, Nov 2011, France. http://vide.org/itfpc-miatec2011/fileadmin/document/ITFPC-MIATEC_program_oral.pdf. ⟨hal-00642323⟩

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