Micro-bolomètres à température ambiante pour la microscopie champ proche Térahertz

Sébastien Euphrasie (1) , Sofiane Ben Mbarek (1) , T. Baron (1) , L. Thiery (1) , Danick Briand (2) , P. Vairac (1) , Bernard Cretin (1) , R. Adam (3) , Laurent Chusseau (3, 4) , J. P. Guillet (3) , Annick Pénarier (3, 5)

1 FEMTO-ST - Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174)
2 Institute of Microtechnology
3 IES - Institut d’Electronique et des Systèmes
4 RADIAC - Radiations et composants
5 TéHO - Térahertz, hyperfréquence et optique

Domaines: Instrumentations et Détecteurs [physics.ins-det]

Sébastien Euphrasie, Sofiane Ben Mbarek, T. Baron, L. Thiery, Danick Briand, et al.. Micro-bolomètres à température ambiante pour la microscopie champ proche Térahertz. GDR Ondes, Mar 2011, Paris, France. ⟨hal-00636016⟩