Direct patterning and ordering of diblock copolymers through nanoimprint lithography - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2011

Direct patterning and ordering of diblock copolymers through nanoimprint lithography

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00634124 , version 1 (20-10-2011)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00634124 , version 1

Citer

M. Salaün, N. Kehagias, M. Le Gallic, C.M Sotomayor Torres, M. Zelsmann. Direct patterning and ordering of diblock copolymers through nanoimprint lithography. Micro- and Nano-Engineering conference- MNE 2011, Sep 2011, Berlin, Germany. ⟨hal-00634124⟩
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