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Capteurs résonants M/NEMS et phénomènes non linéaires

Résumé : Les capteurs résonants de type M/NEMS jouent et joueront un rôle essentiel dans les nouvelles technologies. Cependant leur comportement est souvent fortement non linéaire ce qui est préjudiciable à la précision de la mesure exigée. Les résonateurs M/NEMS analysés ont des comportements complexes combinant raidissements, assouplissements, instabilités latérales car régis par des larges déflexions, des excitations paramétriques, des couplages géométrique et électrique. Ces comportements nécessitent une conception soigneuse qui doit s'appuyer sur des modèles les plus simples possibles mais tout en gardant leur pertinence pour modéliser au mieux les différents phénomènes physiques en jeu.
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https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00633135
Contributor : Sébastien Baguet <>
Submitted on : Friday, September 19, 2014 - 9:28:50 AM
Last modification on : Monday, April 6, 2020 - 9:22:28 AM
Document(s) archivé(s) le : Saturday, December 20, 2014 - 10:05:28 AM

File

Kacem_Hentz_Baguet_Dufour_MEMS...
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Identifiers

  • HAL Id : hal-00633135, version 1

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Citation

Najib Kacem, Sebastien Hentz, Sébastien Baguet, Régis Dufour. Capteurs résonants M/NEMS et phénomènes non linéaires. Acoustique et Techniques, 2009, pp.10-14. ⟨hal-00633135⟩

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