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Communication Dans Un Congrès Année : 2010

Synchronous Plasma Pulsing For Etch Applications

Marielle Clot  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00625368

Soumis le : mercredi 21 septembre 2011-14:07:37

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:42:13

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00625368 , version 1 (21-09-2011)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00625368 , version 1

Citer

M. Haass, Maxime Darnon, E. Pargon, C. Petit-Etienne, L. Vallier, et al.. Synchronous Plasma Pulsing For Etch Applications. AVS 57th international symposium, Oct 2010, Albuquerque, United States. ⟨hal-00625368⟩

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