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Communication Dans Un Congrès Année : 2010

Successive conduction modes in Si3N4 capacitive RF-MEMS

David Mardivirin
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 919510
MINACOM
Stanis Courrèges
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 919469
MINACOM
Pierre Blondy
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  • PersonId : 915831
MINACOM
Arnaud Pothier
MINACOM
CV
Fabio Coccetti
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Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes
Robert Plana
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 843541
Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes

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https://hal.science/hal-00619152

Soumis le : lundi 5 septembre 2011-15:57:59

Dernière modification le : lundi 20 novembre 2023-11:44:17

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00619152 , version 1 (05-09-2011)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00619152 , version 1

Citer

David Mardivirin, Stanis Courrèges, Pierre Blondy, Arnaud Pothier, Fabio Coccetti, et al.. Successive conduction modes in Si3N4 capacitive RF-MEMS. 11th International Symposium on RF MEMS and RF Microsystems, MEMSWAVE, Jun 2010, Otranto, Italy. ⟨hal-00619152⟩

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