Plasma and material surface investigations in a nitriding process of thin molybdenum films using an expanding (Ar-N2-H2) plasma
Said Touimi
(1)
,
Isabelle Jauberteau
(1)
,
Jean-Louis Jauberteau
(1)
,
Sébastien J. Weber
(2)
,
Annie Bessaudou
(3)
,
Armand Passelergue
(4)
,
Jacques Aubreton
(1)
Isabelle Jauberteau
- Fonction : Auteur
- PersonId : 16112
- IdHAL : isabelle-jauberteau
- IdRef : 154164852
Jean-Louis Jauberteau
- Fonction : Auteur
- PersonId : 915590
Sébastien J. Weber
- Fonction : Auteur
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- IdHAL : sebastien-weber
- ORCID : 0000-0001-8531-5551
- IdRef : 148934536
Armand Passelergue
- Fonction : Auteur
- PersonId : 180587
- IdHAL : armand-passelergue
- IdRef : 253135249